High-voltage (100 V) ChipfilmTM single-crystal silicon LDMOS transistor for integrated driver circuits in flexible displays
A. Asif,H. Richter,and J. N. Burghartz
A. Asif
Institut für Nano- und Mikroelektronische Systeme, Universität Stuttgart (INES), Elektrotechnisches Institut II, Pfaffenwaldring 47, 70569 Stuttgart, Germany
Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS), Allmandring 30A, 70569 Stuttgart, Germany
H. Richter
Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS), Allmandring 30A, 70569 Stuttgart, Germany
J. N. Burghartz
Institut für Nano- und Mikroelektronische Systeme, Universität Stuttgart (INES), Elektrotechnisches Institut II, Pfaffenwaldring 47, 70569 Stuttgart, Germany
Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS), Allmandring 30A, 70569 Stuttgart, Germany